輝光放電光譜儀質量控制、新材料研發的工具 表面處理工藝 表面涂層工藝 經材料和工藝處理過的近表面 可準確分析化學成分和涂層厚度 可分析非導電材料和涂層，如玻璃、陶瓷、類金剛石、防腐涂層，唯YI的非導體、半導體深度剖面快 速分析手段 GDOES儀器提供了一種對具有層狀結構的材料快速深度剖面分析的手段 相對于電鏡、俄歇等微區分析技術而言，GDOES具備大區域分析能力